電化學納米印刷術用于制造金屬連接件
2008年09月24日 8:38 6386次瀏覽 來源： 中國有色網(wǎng) 分類： 新技術
美國伊里諾伊州立大學的研究人員開發(fā)出了簡單易行的電化學工藝用于金屬互連線及其他納米結構的直接布線。這種稱之為S4技術的工藝，首先用聚焦離子束在沖壓模具上刻出所需圖形，模具由硫化銀之類的超離子材料制成。超離子材料中，金屬離子幾乎可以在晶格中自由運動。
將模具置于襯底上，施加電壓，在界面接觸點上引起電化學反應。反應產(chǎn)生的金屬離子穿越交界面進入模具中。隨著反應進行模具深入襯底，在其上產(chǎn)生與模具圖形相反的圖案，目前達到的水平是分辨率為50nm，研究人員正在開發(fā)更理想工具以便進一步提高分辨率。
責任編輯：kitty
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